مكتبة جرير

POLYSULFONES AS X-RAY RESISTS

كتاب مطبوع
229ر.س.
شامل ضريبة القيمة المضافة
وحدة البيع: EACH
13ر.س.شهرياً/24 شهر
المؤلف:Calderon Wilkinson, Gina
تاريخ النشر: 2009
تصنيف الكتاب:التربية والتعليم,الكتب الانجليزية,
عدد الصفحات:60 Pages
الصيغة:غلاف ورقي
هذا الكتاب يُطبع عند الطلب وغير قابل للاسترجاع بعد الشراء

الصيغ المتوفرة:

كتاب مطبوع

سيتم إرسال الطلب الى عنوانك

229ر.س.
شامل الضريبة

حدد خيار التوصيل الذي تفضله

أو

عن المنتج

The microlithographic process, essential in the fabrication of microdevices, uses high-energy radiation to transfer a pattern onto a thin film of polymer resist. Pattern transfer occurs by modifying the properties (solubility or volatility) of the polymer film exposed to radiation. Poly(olefin sulfones) exhibit a high sensitivity to x-rays, which is a desirable property for polymer resists used in the microlithographic process. The potential utility of these new resins prompted a study of the mechanism of degradation promoted by x- ray radiation. In this study, the effect of x-ray radiation on polysulfones with varied chemical structures was analyzed using x-ray absorption near- edge structure (XANES) spectroscopy and in-situ mass spectroscopy (MS). Interesting differences in the mode of degradation of certain poly(olefin sulfones) was observed. The results provide important groundwork for further studies of polysulfones as x- ray resists.
عرض أكثر

المواصفات

رقم الصنف9783639166484
رقم المصنع9783639166484
تاريخ النشر2009
عرض أكثر

أبلغ عن مشكلة مع هذا المنتج

مراجعات العملاء